EPA & ULPA過濾器的構造: 分離式過濾器、 一體式過濾器、 包裝物粘合成過濾網外框----外框與氣密墊片組裝成***終過濾箱體（Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to formfinalassembly），HEPA/ULPA 過濾器是專門為去除多種空氣中的污染成分而設計的，可以去除的成分包括：標準粉塵卷煙煙氣細菌（細菌大小：500到0.3微米）煤灰、花粉、放射性微粒、雜質離子（會影響到集成電路的速度）